配资网站排名 宸微设备科技取得加热器专利, 提高对晶圆加热的均匀性保证晶圆表面镀膜质量

金融界2025年5月3日消息配资网站排名，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司取得一项名为“加热器”的专利，授权公告号CN222803032U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种加热器，包括匀热层、导热层和加热层；所述导热层位于所述匀热层和所述加热层之间，且与所述导热层的两侧面分别与所述匀热层和所述加热层贴合，所述导热层用于导热；所述加热层用于对所述导热层加热；所述匀热层用于支撑晶圆并对所述晶圆加热。在本实用新型提供的加热器通过在匀热层和加热层之间设置导热层，用于将热量均匀的传导至匀热层最后通过匀热层对晶圆加热以提高对晶圆加热的均匀性保证了晶圆表面镀膜的质量。

天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息50条，此外企业还拥有行政许可3个。

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